En la Fluorescencia de rayos X, los rayos X son generados por una fuente que puede ser un tubo de rayos X, un sincrotrón o un material radiactivo, para ser irradiados sobre una muestra. Los elementos que se encuentran presentes en la muestra emitirán radiación fluorescente de rayos X. Cada átomo tiene niveles específicos de energía, de forma que la radiación emitida es característica de ese átomo. Un átomo emite más de una sola energía debido a que se pueden producir vacantes en diferentes niveles y los electrones que llenan estas vacantes también provienen de diferentes niveles. La colección de líneas emitidas es característica de cada elemento y puede ser considerada la huella digital del elemento.El concepto básico para todos los espectrómetros es una fuente, una muestra y un sistema de detección. La fuente irradia la muestra, y el detector mide la radiación procedente de la muestra.
El método es rápido, exacto y no-destructivo. La precisión y la reproducibilidad de los análisis por Fluorescencia de rayos X son muy altas. Cuando se dispone de buen material de referencia es posible obtener resultados muy certeros, pero también en aplicaciones donde no se tienen estándares específicos.El tiempo de medición depende del número de elementos a determinar y de la exactitud requerida, y varía entre segundos y 30 minutos. El tiempo de análisis después de la medición es de solo algunos segundos.
Equipos especializados que emplean esta técnica en LINANEl campo de aplicaciones es muy amplio: investigación y farmacia, industrias del metal, del cemento, alimenticia, aceites, polímeros y plásticos, junto con la minería, mineralogía y la geología. En algunas ocasiones puede ser empleada para determinar el espesor y la composición de capas y recubrimientos.